Vacuum Hot Press Furnace
產品與服務
HP 真空熱壓燒結爐
應用領域與服務
●半導體製程用靶材
圖片說明
| TYPE | HP | 80-140 |
|---|---|---|
| 有效空間 Working space dlmenslons |
Diameter mm Height mm |
f800 550 |
| 最高溫度 Max. temperature |
°C | 1600 |
| 加熱功率 Heater power |
Kw | 195 |
| 冷卻氣體壓力 Cooling gas pressure |
bar abs. | 1 (N2) |
| 均溫性 Temperature uniformity |
°C | ±5 (1000°C) |
| 達到真空度 Ultimate vacuum |
torr | ≦5.0 x 10-5 |
| 洩漏率 Leakage rate |
torr·l/sec | ≦5.0 x 10-3 |
| 油壓桿最大壓力 Max. gross charge weight |
ton | 500 |
| 最大處理量 Max. gross charge weight |
Kg | 5500W x 4700L x 4637H |